中频40KHz 真空等离子体处理设备NE-PE210C
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产品简介

NE-PE210C是一种利用低温等离子体对材料表面进行活化、清洗与改性的真空等离子体处理设备,广泛应用于电子制造、半导体封装、汽车零部件、医疗耗材及材料粘接前处理等领域。通过等离子体轰击,可有效去除表面有机污染物、及氧化层,同时显著提升材料表面能,提高后续涂覆、印刷与粘接可靠性。

该设备采用先进的工业控制架构,兼顾稳定性、可扩展性与智能化生产需求;控制系统PLC+工业控制系统(IPC工控机)架构系统运行稳定可靠,适用于长时间连续生产环境;支持多工艺参数存储与调用;人机交互界面配备10寸中文工业触摸屏;操作界面简洁直观,支持参数可视化设置;实时显示运行状态、功率、气体流量及报警信息。同时该设备可实现与MES系统无缝集成:支持MES系统对接,实现生产数据自动上传与下发,支持工单管理、工艺参数绑定与追溯,可记录处理时间、功率曲线、气体参数及设备状态,满足智能制造数据管理需求。

产品参数

型号NE-PE210C
等离子发生器频率40KHz
等离子发生器功率0-5000W
腔体材质铝合金
腔体尺寸600*610*600mm, 219L
处理层数7层
单层有效处理面积560*510*62mm
气体流量控制器0-500SCCM
工艺气体通道2路,氧气氩气等
真空泵干泵/油泵可选
工作真空度<30Pa
控制方式PLC+MES
工控机
1台
外形尺寸L1350*W1200*H1850mm
电源供应AC380V,50/60HZ,三相五线24A


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