NE-Q15H电感耦合等离子体清洗机主要由气路系统、泵系统、等离子体清洗系统组成。气路系统主要由气瓶、质量流量控制器(MFC)、气体混合室、相关阀门及管路组成。主要功能是提供稳定比例的工艺气体。泵系统的核心部件为机械泵,可以为清洗腔室提供背景真空。等离子体清洗系统是设备的核心装置,主要由射频功率源和电感耦合等离子体源(Inductively coupled plasma,ICP)组成，射频功率源可以为射频线圈提供的13.56MHz的交变电压,从而产生射频场使石英腔体中的混合气体发生电离,形成等离子体。

电感耦合等离子体(ICP)等离子清洗机具有低温、电子密度高、无电极污染等特点,除了清洁功能，等离子清洗机在改变材料表面物理化学性质方面具有不可替代的作用，能够显著提升材料的表面能及粘接结合力，除此之外通过等离子体处理，可以打破材料表面的化学键并引入新的官能团，从而改变表面的润湿性。