加热型等离子清洗机主要由高真空反应腔、加热系统，温控系统，真空抽气系统、真空测量系统、压力控制系统、电源系统、工艺气路系统、电气控制系统和控制软件等部分组成。是在传统真空等离子清洗机的基础上，增加了腔体加热功能，使材料在等离子处理过程中能够保持设定温度（如40℃～200℃，部分定制设备可更高）。

对于很多高端制造工艺而言，加热与等离子协同作用，可以促进化学反应，提高反应速率，使清洗效率大幅提升，缩短工艺时间。

工艺灵活性与材料适应性增强：引入加热模块赋予了等离子清洗系统更强的工艺调控能力，使其能够适应更广泛的基材和更严苛的工业需求，提高难处理材料的改性效果。