产品简介
NE-Q05等离子清洗机采用ICP电感耦合外电极等离子发生方式，其特点是结构简单、等离子体密度高、腔体内部无电极，有效避免电极溅射污染，真空腔体采用高洁净石英玻璃腔室，易清洁，不易与产品发生反应。
等离子清洗机既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也能对样品进行消毒和杀菌。目前等离子清洗技术现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。
产品参数
| 型号 | NE-Q05 |
| 频率 | 13.56 MHz 固态射频电源 |
| 功率 | 0-200W（可调） |
| 腔体材质 | 石英耐热玻璃 |
| 腔体容积 | 5L |
| 腔体尺寸（圆形） | Φ150×280（D）mm |
| 触摸屏 | 4.3寸 |
| 极限真空度 | 1Pa |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 工艺气体通道 | 标配2路（O2、Ar、N2、H2等） |
| 外形尺寸 | 510mm(L)×480mm(W) ×540 mm(H) |
产品应用
PDMS键合
亲水性改善
ITO玻璃清洗
硅片衬底清洗
培养皿活化
提高绑定性
应用案例
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