产品简介
NE-PE25FH真空等离子体清洗机是实验室最常用的材料表面改性设备,它主要由等离子发生器、真空系统、控制系统、样品室等组成。其原理是在工艺气体(O2、Ar、N2、H2等)的氛围下,经过射频电源产生高压交变电场使气体产生等离子体激发,等离子体携带的能量能够使表面吸附杂质与样品表面原子的成键断开,达到样品的清洁效果。断键后产生的等离子体自由基等其他杂质通过其他物理作用或者化学作用形成易挥发性的物质,随着气流排出。等离子清洗仪除了具有清洗材料表面有机污染物、氧化物作用外,它还可以对材料的表面性能进行改善,如材料粘附性、亲水浸润性和相容性等。
产品参数
| 型号 | NE-PE25FH |
| 等离子发生器 | 13.56MHz ,0-300W(可调) |
| 腔体材质 | 316不锈钢 |
| 腔体尺寸 | 380*390*170(L*W*H)mm; 25L |
| 腔体有效处理空间 | 306(W)×301(D)×30(H)mm |
| 处理层数 | 2层 |
| 气体流量计 | 500 SCCM MFC |
| 工艺气体 | 2路(氧氩等) |
| 控制方式 | 7寸触摸屏+PLC |
| 电源 | 220V 50/60Hz 10A |
| 外形尺寸 | 650mm(L)×689mm(W)×697 mm(H) |
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