产品简介
在线四轨道等离子清洗机,专门针对半导体芯片封装引线框架清洗,主要用于引线键合前、塑封前预处理,引线键合前清洗,去除焊盘氧化、有机残留,提高金铜线键合强度,减少虚焊脱焊。塑封前活化表面,增强塑封料附着力,解决塑封分层痛点,提升封装良率与器件可靠性。
产品特点:四轨道并行片式清洗,双层清洗载物台,对比传统单层结构,产能直接翻倍,单次可实现八片料同步清洗。设备轨道宽度可调,兼容多款引线框架规格,全程自动上下料传输,不用人工干预,规避二次污染,适合大批量封装生产。工艺配方可存储一键调用;全流程参数记录、故障报警;支持 MES 对接,生产数据可追溯;分级权限管理,便于产线规范化管理。
产品参数
| 型号 | NE-PE4T |
| 产品进料/收料方式 | 自动进、出料,左进左出 |
| 真空腔体尺寸 | L*W*H:570mm*340mm*60mm |
| 可清洗产品规格 | 产品长度:160mm-300mm,产品宽度:25mm-100mm(可定制) |
| 射频电源 | 1000W,13.56MHz |
| 工艺气体 | 2路、氩、氩氢等 |
| 真空泵 | 干泵/油泵 |
| 清洗轨道 | 4轨、双层,一次清洗8片 |
| 电源 | 380V、40A、50Hz |
| 整机尺寸 | L*W*H:1850mm * 1357mm * 2050mm |
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