工业生产型 真空等离子清洗机NE-PE30F
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产品简介

NE-PE30F是一款中小型真空等离子清洗机,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-20 Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体能与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。

NE-PE30F具有如下的优点:(1)等离子清洗机清洗效率高,应用范围广;(2)对清洗样品,没有任何外观尺寸、材质等要求;(3)在清洗过程中,温升比较小,基本可达到常温处理;(4)射频功率可无极连续可调,高效的特制电极是产生均匀等离子体的保证;(5)特有的过载、过热和短路保护电路,可保证射频电源的稳定和安全;(6)设备采用模块化设计,安装与维护都极为简单。

产品参数

型号NE-PE30F
等离子频率13.56MHz
腔体材质

不锈钢/铝合金(可选)

真空泵油泵/干泵(可选)
极限真空度1Pa
功率0-300W(可调)
腔体尺寸300(L)*345(D)*300(H)mm
腔体容积30L
腔体有效处理面积250(L)×250(D)mm
气路数量2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等
极板间距34mm(可调整)
处理层数4层
控制方式PLC+触摸屏
电源220V
外形尺寸630mm(L) X 730m (w) X 1430mm (H)


应用案例

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