NE-PE40F是一款中小型真空等离子清洗机，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-20 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体能与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。

NE-PE40F具有如下的优点：（1）等离子清洗机清洗效率高，应用范围广；（2）对清洗样品，没有任何外观尺寸、材质等要求；（3）在清洗过程中，温升比较小，基本可达到常温处理；（4）射频功率可无极连续可调，高效的特制电极是产生均匀等离子体的保证；（5）特有的过载、过热和短路保护电路，可保证射频电源的稳定和安全；（6）设备采用模块化设计，安装与维护都极为简单。