真空等离子清洗机NE-PE30F-深圳纳恩科技有限公司

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产品简介

NE-PE30F是一款小型中频的真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。

产品参数

型号	NE-PE30F
等离子频率	13.56MHz
极限真空度	1Pa
功率	0-300W（可调）
腔体尺寸	300(L)345(D)300(H)mm
腔体容积	30L
腔体有效处理面积	250（L）×250（D）mm
气路数量	2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等
极板间距	34mm（可调整）
处理层数	4层
控制方式	PLC+触摸屏
电源	220V
外形尺寸	630mm(L) X 730m (w) X 1430mm (H)