等离子清洗原理及优势 等离子体清洗原理即是等离子体通过其内部具有特定反应活性或高能量的粒子，如离子、电子、激发态的原子和分子以及自由基等等，去撞击待清洗材料表面，将附着在表面的污染物或微颗粒物剥离或与产品表面的有机物发生反应生成易挥发的气体，然后排出。

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