在线微波等离子清洗机是一款专为半导体封装、光模块、MEMS传感器、先进封装及高精密电子制造行业打造的高效自动化表面清洗设备。设备采用四轨道并行传输系统，支持4片引线框架同步处理，完成进出腔体、自动扫码及定位等动作，并兼容多种尺寸产品自动切换，大幅提升设备兼容性与生产效率。

核心微波等离子清洗系统采用2.45GHz阵列式固态微波等离子源，结合自适应阻抗匹配技术，可显著提升等离子体的均匀度，从而提高清洗的均匀性，相比传统射频等离子技术，微波等离子不会产生明显离子轰击损伤和高热负荷，对MEMS器件、光学元件及各类敏感基板更加安全友好。

设备配备PLC+工业计算机双控制架构，实现整机动作协调、工艺参数管理、数据追溯及智能报警，并支持MES系统对接，可兼容PROFINET、EtherCAT、Modbus TCP等主流工业通信协议。通过智能联锁接驳系统，设备可自动与上下游生产线同步运行，实现高速连续生产。