微波等离子体清洗机是一种利用微波能量产生等离子体来对物体表面进行清洗的先进设备，可去除有机物、光刻胶、无机物、氧化层等多种污染物，可对硅晶圆、金PAD、铝PAD等表面进行清洗，该清洗机具有操作方便、效率高、表面干净、无划伤、有利于确保产品质量等优点。清洗过程中不产生空气污染,也没有废液、废渣产生,是真正的节约能源,降低成本。