等离子体是带电粒子和中性粒子组合成的物质集合体,它是自然界中除了固体、液体和气体之外物质存在的第四种形态。等离子体中存在着大量的自由电子和离子,整体呈现为中性,其内部电子的运动十分活跃复杂,粒子与粒子之间会在运动中不断碰撞电离,然后产生更多的电子-离子对。此外,等离子体具有可压缩性,在外部压力或电磁力作用下,等离子体的密度会发生显著变化,这使得人们可以通过控制压力或者电磁力对等离子体进行不同功能的应用。等离子体按照温度可以分为高温等离子体和低温等离子体两种,高温等离子体的温度一般能达到10⁴-10⁷K,内部能力极高,一般用于核聚变反应的研究和高温材料的合成;低温等离子体的温度则接近于室温,能够被较为容易地控制,其中大气等离子体是在大气压下产生的等离子体。在大气等离子体中没有复杂的真空系统约束,气体压力接近大气压,相比于低气压等离子体材 料表面处理技术,具有结构简单、运行成本低且稳定的优点。

大气等离子体处理设备的主要类型

大气等离子体(APP)处理设备依据放电机制可分为介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge,DBD)、射频放电(Radio Frequency Discharge,RF Discharge)、微波放电(Microwave Discharge,MW Discharge)、电弧放电、电晕放电等方式。

大气等离子体对材料表面改性的方法

大气等离子体对材料表面的处理可以用于改善材料的物理化学性质,如对高分子材料表面的改性,能够在塑料、橡胶等材料引入极性基团(如羧基、羟基等),提升这些材料与油墨或者胶粘剂之间的界面相容性,适用于包装材料行业。等离子体还可以通过大量高速粒子的冲击在材料表面形成刻蚀,提升材料表面的粗糙度,如在陶瓷或者金属表面进行等离子体处理后,就可以增强后续涂覆的涂层的附着力,延长其使用寿命。此外,等离子体还对材料表面有一定的清洁作用,如在半导体制造业中,可以通过等离子体处理对晶圆表面进行清洗,去除晶圆表面残留的光刻胶、金属杂质等物质,提升晶圆的良品率。因此,等离子体对材料表面改性的方法可以总结为以下几点:

(1) 表面刻蚀与粗糙化

通过等离子体内部的大量高能粒子对材料表面的轰击,在材料表面形成刻蚀,增加材料表面的粗糙度和比表面积。

(2) 表面交联强化

高能粒子撞击导致材料表层分子链断裂,生成自由基并重新结合形成致密的交联层。

(3) 自由基的生成与官能团的引入

等离子体中的活性粒子(如O、N自由基)与材料表面反应,打破C-F、C-C等惰性化学键,生成新的极性基团(如-COOH、-OH、-NH₂)。