微波等离子清洗机具有激发频率高、自偏压小、离子动能小、离子浓度高、化学反应强等特点,可以有效避免静电损伤、实现均匀的三维清洗,与传统等离子清洗(中频或射频)相比,微波等离子清洗可以产生具有优良特性的等离子体,所以微波等离子清洗机在集成电路制程中,尤其是可靠性要求极高的军用集成电路生产过程中发挥着举足轻重的作用,市场前景十分广阔。